-
第 1 週
真空技術與氣體傳輸安全-氣 壓、氣體動力學 、真空系統 (氣導、抽氣速率)、真空泵浦
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 2 週
真空氣壓計、漏氣測定、氣體傳輸系統 、危險氣體的處理 、流量的量測與控制
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 3 週
電漿物理- 電漿中的氣相碰撞、各種電漿粒子與表面之作用、射頻輝光放電
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 4 週
磁控管輝光放電 帶電粒子在磁場方向螺旋前進 帶電粒子受電力和磁力作用 高密度電漿
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 5 週
表面動力學與薄膜生長機制 物理吸附 化學吸附 吸附原子在基板表面產生表面張力 結合能與表面張力 吸附量與溫度、氣壓之關係
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 6 週
摻質原子在晶體中的擴散 表面擴散與薄膜間的互擴散 孕核 原子團的生長與聚合 薄膜的結構與缺陷
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 7 週
薄膜製作技術 熱氧化 物理汽相沉積1 蒸鍍 脈衝雷射沉積 濺射沈積或乾蝕刻 離子束沉積或蝕刻
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 8 週
化學汽相沉積 反應腔中氣體傳送原理 CVD動力學 CVD反應系統 導電薄膜和介電薄膜製作
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 9 週
期中考
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 10 週
磊晶技術 鹵化物系VPE同質磊晶 Ⅲ一Ⅴ族半導體異質磊晶 微影製版術 光阻材料 紫外線曝光技術 圖案對準技術 蝕刻技術 濕式蝕刻 乾蝕刻
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 11 週
磊晶生長與光學薄膜 同質磊晶生長模式 異質磊晶的能隙與晶格常數 晶格失配的結構 異質磊晶層中的應變能 異質磊晶的差排能
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 12 週
超晶格應變層與插入差排 光學薄膜 光在薄膜界面的反射與穿透 多層抗反射薄膜 超晶格高反射薄膜
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 13 週
異質結構薄膜精進元件電性 異質結構薄膜 光電檢測器 太陽能電池 發光二極體
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 14 週
半導體雷射二極體 異質雙載子接面電晶體 高電子遷移率電晶體
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 15 週
散射與薄膜結構或成分分析 X-射線繞射與三維倒晶個格 電漿振盪子與電磁耦合量子 離子晶體的聲子 電漿振盪子 二維結晶學
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 16 週
基板晶格表面 表面結構的Wood符號與疊層覆蓋率 薄膜與基板的繞射圖案關係 電子繞射 拉塞福反向散射光譜儀(RBS) 二次離子質譜儀
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 17 週
薄膜特性檢測技術與原理 光學特性分析技術 光學顯微鏡 橢圓儀 紅外光譜儀拉曼光譜分析
對應能力：
創新獨立能力
、
撰寫專業論文
、
策劃執行能力
、
電機研究能力
、
領導管理能力
-
第 18 週
期末考
-
第 19 週
總複習
-
第 20 週
總複習